Stromversorgungen für defektfreie Beschichtung

Die primärgetakteten Stromversorgungen der PLASMATEC-Serie stehen für eine verbesserte Prozesstechnologie bei Dünnschicht-Plasmaanwendungen. Mit diesen hochmodernen wassergekühlten Stromversorgungen bietet J. Schneider verschiedene anwendungsspezifische Systeme für Vakuumprozesstechnologien an. 

 

Die Vorteile unserer PLASMATEC-Geräte auf einen Blick:

 

  • Stromquellen-Stromversorgungen für bestes Arc-Handling
  • Hochentwickeltes, flexibles und einstellbares Arc-Management
  • mit extrem niedriger passiver Ausgangsenergie und hoher Ausgangsleistungsdichte
  • Einzelmodule verfügbar in einem breiten Leistungsbereich von 3 bis 20 kW
  • Durch Parallelschaltung Ausgangsleistungen bis zu 200 kW möglich

Unser Produktportfolio

Für Magnetron-Sputter-Beschichtung, PECVD-Prozesse und Plasmabehandlung

PLASMATEC DC
  • IDEAL FÜR DEKORATIVE ODER FUNKTIONELLE BESCHICHTUNGEN
PLASMATEC DCp
  • IDEAL FÜR ANWENDUNGEN BEIM EINZELMAGNETRON SPUTTERN
PLASMATEC Ap
  • EINSTELLBARE POSITIVE PULSE FÜR VERBESSERTE BESCHICHTUNGSEIGENSCHAFTEN
PLASMATEC AC
  • BESONDERS GEEIGNET FÜR DUAL MAGNETRON ANWENDUNGEN
PLASMATEC Mp
  • SEHR FLEXIBEL MIT
  • DC, UNIPOLAR UND BIPOLAR GEPULSTEM AUSGANG

Für gepulse, kathodische Arc Prozesse

PLASMATEC ARC
  • GEPULSTE, KATHODISCHE ARCVERSORGUNG
PLASMATEC BIAS
  • DC, UNIPOLAR ODER BIPOLAR GEPULST

Optionen

PLASMATEC Optionen

Auf die Form der Ausgangsspannung kommt es an!

möglich bei:

PLASMATEC DC

PLASMATEC DCp

PLASMATEC Mp

PLASMATEC ARC

PLASMATEC BIAS

 

möglich bei:

PLASMATEC ARC

 

möglich bei:

PLASMATEC DCp

PLASMATEC Ap

PLASMATEC Mp

PLASMATEC ARC

PLASMATEC BIAS

 

möglich bei:

PLASMATEC AC

PLASMATEC Mp

PLASMATEC BIAS

 

 

möglich bei:

PLASMATEC Ap

PLASMATEC BIAS

 

 

 

 

möglich bei:

PLASMATEC Mp